エリオニクス 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600
ERA-600
メーカー:株式会社エリオニクス
対象製品:三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600
概要
高分解能で観察しながら粗さ解析ができる、エリオニクスならではの走査電子顕微鏡
特長
世界で唯一、二次電子検出器を4本搭載
- 高分解能SEMで観察しながら、表面粗さなどの3次元データを取得、定量解析が可能
- JIS規格の粗さパラメータで評価出来ます
- 二次電子信号による凹凸像が取得可能で、凹か凸かわかりにくいサンプルも容易に判別が可能
- オプションの刃先解析プログラムにて、鋭利な刃先先端Rの測定が可能
仕様
分解能 | Z方向(3次元測定時) 1nm XY方向(SEM観察時) 3.5nm(30kV) |
加速電圧 | 0.3kV~30kV |
倍 率 | ×10~×300,000 |
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詳細
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