島津の真空技術・漏れ検査

島津製作所は、1954年(昭和29年)に日本で初めてヘリウムガスを用いてリーク(漏れ)検出する非破壊試験装置ヘリウムリークディテクタ MS-A形を完成させました。その長い歴史を誇る漏れ検査技術は、高感度で高精度にリーク検出できる計測装置として、モノづくりの安全・安心から環境保全まであらゆる分野の支えとなっています。

MSE-2400/2401の特長

・【ココが島津ならでは！ 】より優れたバックグラウンド回復能力

大量のサーチ用ヘリウムガスを吸引した場合でも、バックグラウンド(サーチ用ヘリウムガスを注入する前のヘリウム含有基準値)の回復に優れています。
その秘密は、
1. リークディテクタ専用に開発したモレキュラードラッグポンプを搭載。中間排気方式と高い圧縮性でバックグラウンドの低減を実現。
2. 分析管270度偏向方式によりヘリウム以外のガスの影響を受けない。

・より高速となる測定時間安定性を実現

・オイルフリー/ダストフリー/3年間メンテナンスフリー(ドライポンプを搭載したMSE-2401型)

※クリーンルームなどに最適です

・高精度/高速タクトタイムを実現

・質量分析法による減圧法高感度水素リークテストの実現